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VARIAN TV301分子泵特點(diǎn)功耗更低、性能更佳通過(guò)減少發(fā)熱而節能,并提高可靠性為風(fēng)冷而優(yōu)化的冷卻翅片通過(guò)降低工作溫度進(jìn)一步提高可靠性泵具有優(yōu)化的幾何尺寸功率要求低,前級耐壓高及可承受高氣載可拆卸的前級連接器可連接各種前級泵 冷卻方式靈活(風(fēng)冷或水冷)
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渦輪分子泵具有提供超清潔、無(wú)碳氫化合物的真空環(huán)境的能力,故常被用戶(hù)選用。然而,用戶(hù)也偶爾會(huì )發(fā)現渦輪分子泵提供不了不含碳氫化合物的真空環(huán)境。經(jīng)調查發(fā)現碳氫化合物的來(lái)源,50%是操作失誤所帶來(lái)的問(wèn)題,如渦輪分子泵的前級泵為油封式旋片泵時(shí),沒(méi)有控制返流的安全閥,不合理的放氣程序都會(huì )引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會(huì )引起油污染。
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分子泵啟動(dòng)的條件:
?、?、啟動(dòng)條件:連接無(wú)誤、無(wú)漏、冷卻、潤滑、真空度
?、?、啟動(dòng)時(shí)間:
同時(shí)啟動(dòng)——小系統,防前級泵油上返。
延遲啟動(dòng)——系統容積過(guò)大,先啟動(dòng)前級泵,至系統壓強P=200Pa時(shí),啟動(dòng)分子泵。
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Varian的分子泵幾乎涵蓋了所有可能的應用領(lǐng)域,瓦里安TV551,特有的機電一體化的設計,TV551維護,具有前級耐壓高的特性
Agilent安捷倫TV551分子泵驅動(dòng)器維修,Varian Turbo-V550瓦里安渦輪分子泵控制器輸入電壓100-240VAC,輸出頻率700HZ,功率600VA??梢钥刂频姆肿颖糜蠽arian Turbo-V550,Turbo-V551等
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渦輪分子泵的抽氣原理是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵輸送氣體應滿(mǎn)足二個(gè)必要條件:1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。2). 分子泵的轉子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線(xiàn)速度